반도체 공정용 초고순도 CHEMICAL / PHOTO RESIST 등에 대하여 안정적인 공급 SYSTEM을 구축하여 운영중입니다.
Process Chemical
◆ 산/염기
| 품명 |
Grade |
규격 |
| 과산화수소 (H2O2) |
EP-S |
4KG / 20KG |
| MB-H |
220KG / TK Lorry |
| 황산 (H2SO4) |
EP-S |
7KG |
| MB-H |
25KG / 350KG / TK Lorry |
| 암모니아수 (NH4OH) |
MB-S |
20L / 190L / TK Lorry |
| 질산 (HNO3) |
EP-S |
5KG / 25KG
250KG / TK Lorry |
| 수산화칼륨 (KOH) |
MB-H |
25KG / 250KG |
| 염산 (HCl) |
EP-S |
4KG / 20L / 200KG |
| 불산 (HF) |
MB-H |
220KG |
| 초산 (CH3COOH) |
MB-H |
20KG |
| 인산 (H3PO4) |
EP-S |
6KG |
◆ Solvent
| 품명 |
Grade |
규격 |
| IPA (CH3CHOHCH3) |
EP-S |
3.8L / 20L |
| MB-H |
18L(CAN) / 100L(CAN) / TK Lorry |
| 에탄올 (C2H5OH) |
EP-S |
3.8L / 100L(CAN) |
| 아세톤 (CH3COCH3) |
EP-S |
3.8L / 20L /100L(CAN) |
| 메탄올 (CH3OH) |
EP-S |
3.8L / 20L / 200L / TK Lorry |
| NMP (C5H9NO) |
|
IBC / TK Lorry |
| EBR/THINNER |
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3.8L / 200L / TK Lorry |
포토레지스트
| 품명 |
Grade |
규격 |
| PR ArF |
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| PR KrF |
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| PR I LINE |
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| PR G LINE |
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| CIS |
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Stripper/세정제/Thinner
| 품명 |
Grade |
규격 |
| EBR / Thinner |
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後공정 재료
| 품명 |
Grade |
규격 |
| 후공정 Glue 세정제 |
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| 후공정 세정제 |
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